スパッタボックスおよびつなぎの耐熱ホース(1.5m)は標準付属品
| 形名 | RM120S1 | RM300S1 | RM550S1 | |
| 電源 | V（Hz） | 三相交流 200（50/60） | ||
| モーター | kW | 0.75 | 2.2 | 3.7 |
| 最大風量 | m3/min （m3/分） |
12 | 30 | 55 |
| 最大真空度 | kPa （mm水柱） |
2.75（280） | 2.94（300） | 3.43（350） |
| ダストボックス容量 | L（ℓ） | 14 | 39 | 80 |
| フィルタ面積 フィルタ数 |
m2/セット | 4/1 | 8/2 | 12/3 |
| 吸込/排気口径 | mm | 100/175 | 150/250 | 200/300 |
| 電源コード長さ | m | 3 | 5 | 5 | 騒音 | dB | 70 | 74 | 75 |
| 質量 （スパッタボックス） |
kg | 85（18） | 145（20） | 230（38） |
| 枠体寸法 （幅×奥行×高さ） |
mm | 350×600×1,205 | 600×600×1,405 | 950×600×1,615 |
デジタルカタログ
